ELA裝置（準分子激光退火設備）
適用于高精細LCD、OLED產品制造的準分子激光退火設備
本公司的準分子激光退火（ELA）設備是制造智能手機、數碼相機、便攜式游戲機
的高清面板時不可或缺的。在制造高精細面板TFT（薄膜晶體管）時，
低溫多晶硅（LTPS）TFT被廣泛使用，ELA設備用于將a-Si薄膜的結晶化。
適用于高精細LCD、OLED產品制造的準分子激光退火設備
本公司的準分子激光退火（ELA）設備是制造智能手機、數碼相機、便攜式游戲機
的高清面板時不可或缺的。在制造高精細面板TFT（薄膜晶體管）時，
低溫多晶硅（LTPS）TFT被廣泛使用，ELA設備用于將a-Si薄膜的結晶化。
準分子激光退火（ELA）設備是由高精密退火腔室，高輸出準分子激光，及光學系統構成，通過準確照射出均勻光束，使玻璃基板上的a-Si膜在低溫下形成poly-Si結晶化。
本裝置是，制造智能手機和數碼相機的中小型高精細顯示器（LTPS-LCD和OLED）時所需要的設備。